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工藝條件：

1、手動打開進(jìn)氣閥1（N2氣)、出氣閥、手動調(diào)整微調(diào)閥到壓力為4.3pa(±0.2pa).
2、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計(jì)時（30min）。
3、30min到后自動關(guān)閉進(jìn)氣閥1（N2氣），打開進(jìn)氣閥2（氫氮混合氣），手動調(diào)整微調(diào)閥到壓力為4.3pa(±0.2pa)。
4、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計(jì)時（30min）。
5、30min到后自動關(guān)閉出氣閥。
6、等氣壓到0.03pa后關(guān)閉進(jìn)氣閥2（氫氮混合氣）。
7、開啟加熱器等溫度到達(dá)65℃后開始計(jì)時（16h）。
8、16h到后關(guān)閉加熱器。
9、打開進(jìn)氣閥1（N2氣)、出氣閥、手動調(diào)整微調(diào)閥到壓力為4.3pa(±0.2pa).
10、壓力到4.3pa(±0.2pa)后開始計(jì)時（30min）。
11、30min到后自動關(guān)閉進(jìn)氣閥1（N2氣）。
12、壓力到0后關(guān)閉出氣閥。
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