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工控人家園 綜合討論 關(guān)于設(shè)備精度補償求助

何文軒

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樓主發(fā)表于: 2024-12-10 11:33

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一個檢測設(shè)備，每次走一個長方形，相機檢測出來的位置X,Y方向都有30um，40um的偏差，求大神幫忙看看有沒有比較合適的方法，通過什么方式矯正過來，要求5un ，謝謝各位了

libin520

雖然沒什么突破和進步，卻還是每天在堅持著。

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1樓發(fā)表于: 2024-12-16 10:25

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用什么硬件能保證機械精度是3um,
我們這里用的1nm的微型直線馬達，XY平臺行程100mm，價格11W RMB。配合康耐視相機做補正。勉強保證到2微米。
被檢測物太小了。直徑是25微米的合金導(dǎo)線。被檢測位置是去除絕緣皮的位置。

請教下平臺的平整度用什么測量和校準(zhǔn)，謝謝

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